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Bird-射頻專家超穩(wěn)定的油介電RF終端負(fù)載

發(fā)布時間：2021-05-28 17:16:23     瀏覽：1171

Bird-射頻專家超穩(wěn)定油介質(zhì)射頻終端負(fù)載是為了實現(xiàn)最大的工藝重復(fù)性和一致性。現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)、調(diào)整和監(jiān)測是確保向腔室提供準(zhǔn)確和可重復(fù)的射頻功率的關(guān)鍵因素。Bird-射頻專家現(xiàn)在提供超穩(wěn)定，低電壓駐波比負(fù)載，可以快速準(zhǔn)確地測量發(fā)電機功率輸出時，與精密功率傳感器，如Bird 4020系列使用。Bird? 型號8865sc138890-300sc138921sc13和8931 SC不僅提供低電壓駐波比，而且在過程臨界頻率下電壓駐波比的總變化小于0.1 dB。由于校準(zhǔn)是針對不同的時間長度進(jìn)行的，因此沒有負(fù)載預(yù)熱或重復(fù)性的風(fēng)險。這使得與校準(zhǔn)相關(guān)的誤差最小化，并控制一個更關(guān)鍵的過程變量。

超穩(wěn)定的油介電RF終端負(fù)載.png

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